美國博曼(Bowman)半導體膜厚測試儀結合了大功率X射線管和高分辨率探測器,能夠滿足多鍍層、復雜樣品和微小測試面積的檢測需求。
電制冷固態探測器確保的信/躁比,從而降低檢測下限。
探測器分辨率極高,能更容易地識別、量化和區分相鄰的元素。有害元素檢測結果可精確到ppm級,確保產品滿足環保要求,幫助企業降低高昂的產品召回成本和法令執行成本。
您可以針對您的應用選擇合適的分析模型:經驗系數法、基本參數法或兩者結合。這款儀器能對電子產品上的關鍵組裝區域進行快速篩選性檢測。一旦識別出問題區域,即可對特定小點進行定量分析。大型樣品艙能夠靈活地檢測大件或形狀不規則的樣品,大艙門使樣品更易放入。
美國博曼(Bowman)半導體膜厚測試儀的產品特點:可檢測元素范圍:AL13 – U92.可同時測定5層/15種元素/共存元素校正.即放即測!通過自動定位功能,放置樣品后僅需幾秒,便能自動對準觀察樣品焦點。10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量!以的設計實現微小區域下的高靈敏度,即使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度。無標樣測量!將薄膜FP軟件進一步擴充,即使沒有厚度標準物質也能進行高精度的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。通過廣域觀察系統更方便選擇測量位置!通過廣域觀察系統,能夠從畫面上的樣品整體圖(大250×200mm)中方便地指定測量位置
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美國博曼(Bowman)半導體膜厚測試儀