酸性清槽劑

一、產品特性

目前、碳酸鉀廣泛使用于干膜制程，由于槽液含有大量碳酸根，當其結合水中鈣、鎂離子，產生固體沉淀，此白色沉淀不僅附著在槽壁，同時亦阻塞管路與噴嘴，容易造成顯影不良等后遺癥，重者將破壞設備降低設備壽命。

酸性清槽劑為單液型，針對上述制程困擾研發，能有效清除干膜槽沉淀固體，并可溶解干膜槽中的油性物質，定期清槽可有效確保生產質量延長設備壽命。

二、 配槽方法

酸性清槽劑 30%-70%

水         70%-30%

清槽步驟：

1、先排放掉舊顯影液，再用清水清洗10分鐘。

2、加酸性清槽劑（40%），并以清水加至標準液位。

3、升溫至40℃，噴洗1-3小時后排放此液。

4、注入清水噴洗10分鐘后排放，再用高壓水沖洗。

5、注入清水噴洗15分鐘后排放，即可完成清槽程序。

三、操作條件

1、溫度：30~40℃

2、濃度：40%

3、時間：1-3小時（視沉淀物多少而定）